Máquina de medición táctil multisensor 3D para semiconductores

Descripción de Producto Máquina de medición táctil y multisensor 3D para semiconductores El iMS-3020R   Características del produ

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Descripción de Producto

Máquina de medición táctil y multisensor 3D para semiconductores
El iMS-3020R
Accurate 2D Measurement of Small Parts Video Measuring Machine
 
Características del producto
  1. Base de mármol de alta precisión y Pilar, para garantizar una alta estabilidad y precisión.
  2. Varilla desdentada de alta precisión y dispositivo de bloqueo rápido movimiento, para garantizar el error de histéresis en 2um.
  3. Una óptica de alta precisión el grado de la escala lineal con precisión la etapa de trabajo, para garantizar la precisión es de menos de 2, 5+L/200um.
  4. Lente de zoom de alta en el tope de definitivo y cámara digital en color de alta resolución, para garantizar una imagen clara sin distorsión.
  5. Con la superficie programables 4 anillos 8-LED de la división de iluminación de frío y el contorno de iluminación LED en paralelo y construido en el ajuste de luz inteligente, control automático del brillo en los 4 anillos de la división 8.
  6. La sonda con MCP importados Renishaw Ruby Star lápices para la rápida y precisa la adquisición de las mediciones de la dimensión de los componentes de formas complejas y agujeros.
  7. Potente software de medición RationalVue proporciona con la medición y la geometría tridimensional (2D & 3D, en forma de la tolerancia, la orientación, la posición). Sin conexión de soporte de programación y medición de la virtual. Simple y fácil funcionamiento, 100% de la pantalla gráfica, en tiempo real comparación de CAD, varios informes gráficos. Emite informes de CAD, HTML, PDF, Excel y Txt ect. Por favor refiérase a la detallada introducción como en la lista.
Especificación técnica
Mode El iMS-3020R
El código# 521-160R
Tabla de metal 458x358mm
Mesa de vidrio 356x248mm
X/desplazamiento del eje Y. 300x200mm
Desplazamiento del eje Z Guía lineal de alta precisión, los viajes de trabajo de 200 mm.
X/Y/desplazamiento del eje Z 0.5 um
X/eje exactitud ≤2.5+L/200(mu)
Error de histéresis ±2 um
La base y Pilar Alta precisión Jinan mármol Qing

Sistema de iluminación de ajuste (Software)
Superficie: 0~255 ajustable de 4 anillos de grado 8-LED de la división de iluminación de frío, cada división puede ajustarse de forma independiente
Perfil: Iluminación LED en paralelo
Láser LED luces de navegación
La cámara CCD 700TV de Alta Resolución Cámara CCD color
Lente de zoom 6.5X Zoom de alta resolución en el tope de
La ampliación: 0, 7X~4.5X; La ampliación de vídeo: 26X~172X
Renishaw Ruby Star lápices Bola de Ruby: 2mm de diámetro; La duración del cúmulo de estrellas: 32 mm; La longitud efectiva de trabajo: 12mm
El ambiente de trabajo Temperatura: 20ºC ± 2ºC, cambiar la gama < 2ºC/hr.
Humedad: 30% de ~80% de HR
La vibración< 0.002 g, < 15Hz
Software de medición RationalVue
Funcionamiento del sistema El apoyo XP, WIN7, WIN8.1, sistema operativo WIN 10, 32/64
Idioma El Inglés, Chino simplificado Chino tradicional, en otros idiomas se pueden añadir
La dimensión(W*D*H) 838x667x1000mm
peso neto 185Kg.

La entrega estándar
El nombre del producto El código# El nombre del producto El código#
Software de medición 3D RationalVue Tarjeta de captura de vídeo 527-130
LED de iluminación de contorno paralelo 425-100 Cable AV Video 581-940
La superficie 4R/8D LED de iluminación 425-130 Cable de datos RS232 581-930
El sistema de posicionamiento láser 581-330 Bloque de calibración óptica 581-800
El tope de la lente de zoom de 6.5X 421-100 Manual de operación /
HD700líneas de TV en la Cámara de Color 484-130 Ø100mm bloque de calibración óptica
Renishaw Ruby Star lápices



RationalVue
La combinación de 30 años de exitosa experiencia de desarrollo de software en RationalVue que compartían con núcleo de CAD y medición de la sonda de motor con RationalDMIS ( RationalDMIS ha vendido más de 9.000 plazas en todo el mundo a los clientes que ampliamente adoptada por muchos empresa internacional como GE, Boeing, BMW, GM, ABB, Siemens, Delta Airlines y así sucesivamente).
Accurate 2D Measurement of Small Parts Video Measuring Machine
Un software, una solución completa
1 conjunto de RationalVue= comparación de inspección 2D software + software de comparación de inspección 3D+ inverso CAD software + software de análisis de la forma de análisis de contorno + software + SPC software de análisis estadístico + programación offline software + software de evaluación de la tolerancia geométrica.

El más completo de medición geométrica
Puede finalizar la medición de: 1) la tolerancia de la distancia lineal (max, min, promedio, el espacio), el ángulo de diámetro, radio y el ángulo de cono; 2) Formulario de la tolerancia de la planeidad de la rectitud, la circularidad y cilindricidad; 3)La orientación y ubicación de la tolerancia de la perpendicularidad, angularidad, paralelismo, simetría, la concentricidad, co-axiality, posición (2D y 3D), punto de curva de perfil y perfil.

Completa y potente
La dimensión más completa evaluación FormError (incluyen 2D y 3D, la tolerancia, la posición). RationalVue sigue estrictamente la norma ISO de la producción geométrica de la especificación (incluir del alemán estándar DIN) y ASME GD& T Y14.5m y de China GB estándar...

Un funcionamiento rápido, alta eficiencia
Basado en CAD, 3D de Iges archivo de imagen, el formato DXF y perfil de CAD pueden ser importados, de forma rápida comparación, hace que la medición de la eficiencia mejorada por 2-3 veces.
Accurate 2D Measurement of Small Parts Video Measuring Machine

 

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